光子引线键合加工能力

类型:

睿克光学科技

来源:

发布时间:

2026-11-06

睿克光学联动高校及科研院所,承接半导体微纳加工项目,配备全套高端设备,覆盖光子引线键合全流程,适配小片至12英寸硅晶圆,提供专业光子引线键合及微纳加工整体解决方案。

一、设备支撑

配备光刻(EVG、Canon等)、键合、清洗、预处理等全流程工艺设备,适配小片至12英寸硅晶圆,兼容多种硅基基材,精准控制键合精度与强度,保障加工品质。

二、核心加工能力

具备光子引线键合全流程加工能力,可完成基材预处理、精准对位、引线键合、检测封装等工序,适配各类硅光芯片与光子器件。精准控制键合位置、线径、拉力与导通性能,打造高可靠、低损耗、高稳定的光子引线键合结构,配套完善后处理。

光子引线键合加工能力

三、案例展示


光子引线键合加工能力

案例1:片上SOA和硅光芯片的集成


光子引线键合加工能力

案例2:微环器件引线键合 Q值:10⁵


光子引线键合加工能力

案例3:光纤与光纤耦合


光子引线键合加工能力


案例4:铌酸锂光波导和激光器的耦合


光子引线键合加工能力

案例5:片上SOA和硅光芯片的集成

睿克光学 · 专业提供微纳加工服务

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