睿克光学联动高校及科研院所,承接半导体微纳加工项目,配备全套高端设备,覆盖光子引线键合全流程,适配小片至12英寸硅晶圆,提供专业光子引线键合及微纳加工整体解决方案。
一、设备支撑
配备光刻(EVG、Canon等)、键合、清洗、预处理等全流程工艺设备,适配小片至12英寸硅晶圆,兼容多种硅基基材,精准控制键合精度与强度,保障加工品质。
二、核心加工能力
具备光子引线键合全流程加工能力,可完成基材预处理、精准对位、引线键合、检测封装等工序,适配各类硅光芯片与光子器件。精准控制键合位置、线径、拉力与导通性能,打造高可靠、低损耗、高稳定的光子引线键合结构,配套完善后处理。

三、案例展示

案例1:片上SOA和硅光芯片的集成

案例2:微环器件引线键合 Q值:10⁵

案例3:光纤与光纤耦合

案例4:铌酸锂光波导和激光器的耦合

案例5:片上SOA和硅光芯片的集成
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