微纳图形结构测量

Micro-nano Pattern Structure Measurement

显微3D白光干涉仪
显微3D白光干涉仪
德国POLYTEC MICRO VIEW系列

*全量程粗糙度检测：亚纳米超抛光→磨砂面→摩擦磨损粗糙面，全域粗糙度一站式测试

*异质微结构形貌表征：适配高低反射共存样品，50nm 台阶孔测量，大视野替代 AFM

*大样品高精度拼接：0.01nm 重复精度，单幅 15mm 视野，最大 200mm 无缝拼接成像

*无损薄膜三维分析：透明膜分层测厚，非接触式完成样品 3D 重构，不损伤试样

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亚纳米粗糙度检测服务｜6pm 超高分辨率，解锁超抛光面真实形貌
亚纳米粗糙度检测服务｜6pm 超高分辨率，解锁超抛光面真实形貌
磨砂表面粗糙度测试｜覆盖 Ra 0.1–0.5μm，稳定获取精准形貌数据
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全域粗糙度测试，可测摩擦试验后粗糙表面，兼容 Ra≥3.2μm 大起伏形貌
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50nm 台阶孔形貌测试，适配铜高反射 / SiO₂透明层，大视野扫描，简化原子力测试流程
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大视野拼接形貌测试｜0.01nm 重复精度，最大 200mm 拼接，单幅成像 15mm 视野
大视野拼接形貌测试｜0.01nm 重复精度，最大 200mm 拼接，单幅成像 15mm 视野
透明薄膜分层测厚服务，非接触无损检测，实现多层膜 3D 重构
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