*全量程粗糙度检测：亚纳米超抛光→磨砂面→摩擦磨损粗糙面，全域粗糙度一站式测试

*异质微结构形貌表征：适配高低反射共存样品，50nm 台阶孔测量，大视野替代 AFM

*大样品高精度拼接：0.01nm 重复精度，单幅 15mm 视野，最大 200mm 无缝拼接成像

*无损薄膜三维分析：透明膜分层测厚，非接触式完成样品 3D 重构，不损伤试样

·  纳米精度，200×200mm 大视野全域扫描

·  可测 70mm大台阶工件双面平行度

·  加装光谱模块，同步检测面型与粗糙度

·  自动测量智能判定，适配批量全检

·  独创光路，双面同扫精准测厚与平行度