显微3D白光干涉仪
显微3D白光干涉仪
多功能面型干涉仪
多功能面型干涉仪
白光干涉成像系统
14mm 超大单幅视野,0.6 倍轻量化镜头 + 4 物镜转塔,一机覆盖大视场观测与高精度测量全需求
14mm 超大单幅视野,0.6 倍轻量化镜头 + 4 物镜转塔,一机覆盖大视场观测与高精度测量全需求
搭载一键自动倾斜调平,双闭环精准对焦,操作简易,支持 100mm 连续测量,适配各类高落差深孔结构检测
搭载一键自动倾斜调平,双闭环精准对焦,操作简易,支持 100mm 连续测量,适配各类高落差深孔结构检测
全域粗糙度一键测量,量程跨度广,可精准检测从超光滑镜面到增材高粗糙工件的全范围表面粗糙度
全域粗糙度一键测量,量程跨度广,可精准检测从超光滑镜面到增材高粗糙工件的全范围表面粗糙度
独创光路 + 分层扫描,膜厚精准测量,穿透透明层直达底部轮廓检测
独创光路 + 分层扫描,膜厚精准测量,穿透透明层直达底部轮廓检测
保留黑白干涉解析能力,搭载 RGB 真彩色成像;还原样品形貌与色彩细节,测量更全面、分析更直观
保留黑白干涉解析能力,搭载 RGB 真彩色成像;还原样品形貌与色彩细节,测量更全面、分析更直观
一键自动生成检测报告,兼容 MES 系统,测量数据可无缝上传对接
一键自动生成检测报告,兼容 MES 系统,测量数据可无缝上传对接
纳米精度|200×200mm 视野,扫描成像
纳米精度|200×200mm 视野,扫描成像
传统干涉仪受光学局限,无法对70mm台阶工件双面同步扫描,难以测量平面平行度。
传统干涉仪受光学局限,无法对70mm台阶工件双面同步扫描,难以测量平面平行度。
传统截面测量易因样品差异造成取样偏移,数据偏差大;面台阶测量可有效杜绝此类误差
传统截面测量易因样品差异造成取样偏移,数据偏差大;面台阶测量可有效杜绝此类误差
传统大视野面测受光学限制,XY 精度难以兼顾,加装光谱模块即可完美兼顾粗糙度测量
传统大视野面测受光学限制,XY 精度难以兼顾,加装光谱模块即可完美兼顾粗糙度测量
纳米精密检测设备搭载自动点位测量与智能OK NG判定功能,大幅提速,适配批量全检作业
纳米精密检测设备搭载自动点位测量与智能OK NG判定功能,大幅提速,适配批量全检作业
专属独特光路架构,非透明样品支持上下表面同时扫描,可精准检测厚度均匀性与面平行度
专属独特光路架构,非透明样品支持上下表面同时扫描,可精准检测厚度均匀性与面平行度