睿克光学依托成熟的微纳测量测试资源，深度联动高校及科研院所，专业承接半导体微纳加工项目。公司配备全套高端微纳加工设备，覆盖光刻、刻蚀、镀膜等全流程加工环节，可适配小片至12英寸晶圆，兼容多种基材，为客户提供专业硅光波导加工及微纳加工整体解决方案。

一、设备支撑

公司配备全套高端微纳加工设备，涵盖光刻（含EVG、Canon等主流型号）、刻蚀、镀膜等全流程工艺，可适配小片至12英寸晶圆加工，兼容多种基材，为硅光波导加工提供稳定、高效的设备保障，筑牢加工品质基础。

二、核心加工能力

公司具备专业硅光波导全流程加工实力，可完整完成基材预处理、光刻、刻蚀、抛光封装等全部工序，适配各类规格硅晶圆。加工过程中可精准把控波导结构参数，打造低损耗、高稳定性的光波导器件，配套完善的后处理工序，确保产品性能达标。

三、案例展示

案例1：1×2MMI 插损：0.043dB/端

案例2：All-Pass微环 Q值：10⁵

案例3：电光开关 消光比：45dB

案例4：加热电极：TiN热电极

案例5：交叉波导 损耗：0.028dB/个

睿克光学 · 专业提供微纳加工服务