睿克光学依托成熟的微纳测量测试资源，深度联动高校及科研院所，专业承接半导体微纳加工项目。公司配备全套高端微纳加工设备，覆盖光刻、刻蚀、镀膜、薄膜沉积等全流程加工环节，可适配柔性基材及各类规格晶圆，兼容多种柔性基底材料，为客户提供专业薄膜柔性电极加工及微纳加工整体解决方案。
一、设备支撑
公司配备全套高端微纳加工设备，涵盖光刻（含EVG、Canon等主流型号）、刻蚀、镀膜、薄膜沉积、柔性基材适配处理等全流程工艺，可适配柔性基材及小片至12英寸晶圆加工，兼容多种柔性基底材料，为薄膜柔性电极加工提供稳定、高效的设备保障，筑牢加工品质基础。
二、核心加工能力
公司具备专业薄膜柔性电极全流程加工实力，可完整完成柔性基材预处理、薄膜沉积、光刻、刻蚀、电极成型、封装固化等全部工序，适配各类柔性基材及规格晶圆。加工过程中可精准把控薄膜厚度、电极线宽、方阻及柔性贴合度，打造低阻抗、高柔韧性、高稳定性的薄膜柔性电极器件，配套完善的后处理工序，确保产品性能达标且适配柔性应用场景。
三、案例展示
案例1： MEMS工艺柔性电极
案例2：叉指电极
案例3：叉指电极
案例4：高分子薄膜电极
案例5：高分子薄膜电极
睿克光学 · 专业提供微纳加工服务