·  超高精密定位：XY 精度 ±2μm，振镜定位＜1μm (3σ)

·  激光高稳高良率：能量波动＜1.7%，最小光斑 5.5μm 可选

·  智能视觉对准：自动探针对准精度 ±4μm，免人工调校

·  测调一体闭环：探针台 + 激光微调集成，无缝对接 ATE

·  量产适配强：支持 100–200mm 晶圆，50 片自动上下料

·  标准产线兼容：SECS/GEM、GPIB 通用接口，即插入产线

·  高精测量：量程5mΩ~1GΩ，测量重复性远优于同行

·  精准定位：定位精度 **±5μm**，晶圆级可达 **＜1μm**

·  良率提升：专业闭环调阻，整体良率提升7%+

·  高速高效：优化收敛算法，全量程微调速度行业领先

·  全域适配：多激光可选，兼容厚 / 薄膜、传感器、芯片电阻、晶圆

·  量产易集成：支持 SECS/GEM，自带追溯，适配汽车级高 Cpk 量产