睿克光学依托成熟微纳测量测试资源，与高校、科研院所深度合作，承接半导体微纳加工项目，配备全套高端微纳加工设备，覆盖光刻、刻蚀、镀膜等全流程，适配小片至12英寸晶圆，兼容多种基材，提供专业铌酸锂光波导加工等微纳加工整体解决方案。

一、设备情况

配备全套高端微纳加工设备，涵盖光刻（EVG、Canon等型号）、刻蚀、镀膜等全流程，适配小片至12英寸晶圆加工，兼容多种基材，为铌酸锂光波导加工提供坚实的设备支撑。

二、铌酸锂光波导加工能力

具备专业铌酸锂光波导加工实力，可完成基材预处理、光刻、刻蚀、抛光封装全流程工艺，适配各类规格铌酸锂晶圆。可精准把控波导结构参数，打造低损耗、高稳定光波导器件，配套完善后处理工序。产品适配光通信、光传感、量子光学等领域，支持按需定制，可满足科研试制与批量加工需求。

三、案例展示

案例1：结果展示 LN MOD带宽60Ghz

案例2：结果展示 All-Pass微环Q值：1e6

案例3：结果展示 1×2MMI插损0.2dB

案例4：结果展示 交叉波导损耗：0.02db/个

案例5：结果展示 光栅耦合器损耗：8dB

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