测量难点：

·  传统高精度面型干涉仪成像深度不足，无法适配多台阶工件扫描

·  常规三维成像设备扫描精度偏低

测量难点：

·  三角光学扫描易产生遮挡，三维成像存在阴影盲区

·  激光共聚焦、景深合成成像景深不足，扫描深度受限

测量难点：

·  传统设备分辨率偏低，难以还原完整三维形貌

·  R 值依靠手动选取，重复测量精度不足

测量难点：

·  线轮廓检测易受工件个体差异影响，人工测量误差大

·  传统高精度 3D 扫描设备观测视野狭小

测量难点：

·  检测精度要求高，传统设备精度难以满足

·  传统拼接式测量，检测效率低下

测量难点：

·  传统设备测量精度不足，难以达标

·  传统拼接式检测方式，整体效率低下

测量难点：

·  三角光学扫描易出现遮挡，三维成像存在阴影盲区

·  镜头数值孔径有限，高深径比深孔测量难度大

测量难点：

·  非透明材质无法采用透射式三维成像检测

·  上下表面采样易出现位置偏移，引发测量误差

测量难点：

·  弧面存在斜面效应，三维成像效果不佳

·  钝化 R 值手动拾取，重复测量精度低