光谱共聚焦3D轮廓仪

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高反光、漫反射工件免喷粉，无需表面处理直接扫描；散热翅片角度测量专用，1-秒快速扫描、即刻出结果

透明玻璃检测视野限制，无需拼接，三角扫描-3-秒完成-4mm-视野亚微米级测量，可按需选配探头

40nm重复精度,40mm 大视野测试，免拼接，支持毫米级样品检测

适配漫反射--吸光光伏片栅线检测，2-秒实现高宽比测试，大视野高效排查细微工艺缺陷

实测三丰-516-498系列标准阶差规，2μm-标准台阶清晰分辨

搭载独特分层算法，可穿透顶层盖板玻璃，精准扫描并分离出底层-COB-感光芯片的贴合状态，清晰还原芯片翘曲形貌

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Specification technology

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