睿克光学依托成熟的微纳测量测试(Micro-nano Measurement Test)技术资源，深耕半导体微纳加工(Semiconductor Micro-nano Processing)领域，与高校、科研院所建立深度合作。公司配备全套高端微纳加工设备，覆盖光刻(Photolithography)、刻蚀(Etching)、镀膜(Coating)全链条工艺，支持小片基材至12英寸晶圆(Wafer)加工，兼容多类基材，可提供一站式微纳图形(Micro-nano Pattern)定制解决方案，全面适配科研与产业化加工需求。

一、核心设备配置

拥有全套标准化高端微纳加工设备，完整覆盖微纳加工核心工艺流程。光刻设备搭载EVG、Canon等国际主流型号，加工尺寸适配小片至12英寸晶圆，兼容玻璃、硅片、石英等多种常规基材，加工精度稳定、适配场景广泛，为光栅(Grating)及超结构(Superstructure)高精度加工提供坚实设备支撑。

二、光栅及超结构核心加工能力

公司兼具专业光栅与超结构定制加工能力，可实现多品类、高精度微纳结构量产及科研定制加工。光栅品类可加工表面浮雕光栅(Surface Relief Grating)、体光栅(Volume Grating)等主流类型；超结构可完成微纳尺度周期性结构(Periodic Structure)与非周期性结构(Aperiodic Structure)等复杂结构加工。

依托电子束光刻(Electron Beam Lithography)、离子束刻蚀(Ion Beam Etching)、纳米压印(Nanoimprint Lithography)三大核心工艺，可精准管控光栅周期(Period)、占空比(Duty Cycle)、调制深度(Modulation Depth)，以及超结构尺寸、微观形貌等关键参数，加工成品结构规整度高、精度一致性优异。

配套提供基底处理(Substrate Treatment)、薄膜沉积(Thin Film Deposition)、精度校准等一站式后处理服务，全流程严控产品品质。加工产品广泛应用于光波导(Optical Waveguide)、光谱学(Spectroscopy)、激光器(Laser)、超材料(Metamaterial)等核心领域，可按需定制各类精度、规格的光栅及超结构产品。

三、经典加工案例

五氧化二钽超结构(Tantalum Pentoxide Superstructure, Ta₂O₅)：多批次高精度微纳超结构定制加工

氮化镓超结构(Gallium Nitride Superstructure, GaN)：多规格半导体基超结构精密加工

睿克光学——专注高端微纳图形、光栅及超结构定制代工服务