多功能面型干涉仪

下载目录

您当前位置:首页产品中心光学3D测试服务白光干涉成像系统

产品详情

Product details

纳米精度｜200×200mm 视野，扫描成像

传统干涉仪受光学局限，无法对70mm台阶工件双面同步扫描，难以测量平面平行度。

传统截面测量易因样品差异造成取样偏移，数据偏差大；面台阶测量可有效杜绝此类误差

传统大视野面测受光学限制，XY 精度难以兼顾，加装光谱模块即可完美兼顾粗糙度测量

纳米精密检测设备搭载自动点位测量与智能OK NG判定功能，大幅提速，适配批量全检作业

专属独特光路架构，非透明样品支持上下表面同时扫描，可精准检测厚度均匀性与面平行度

规格技术

Specification technology

产品目录

Product Catalogue

中英文目录

详情请参阅产品目录

公司新闻

产品名称

获取验证码

访问链接