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应变非应变GEOI晶圆
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氧化镓（Ga₂O₃）单晶衬底及外延片
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碳化硅（SiC）外延片
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多晶金刚石（MPCVD）晶圆
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氮化镓（GaN）单晶衬底及外延片
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单晶金刚石（MPCVD）晶圆
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