显微3D白光干涉仪

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Product details

亚纳米粗糙度检测服务｜6pm 超高分辨率，解锁超抛光面真实形貌

磨砂表面粗糙度测试｜覆盖 Ra 0.1–0.5μm，稳定获取精准形貌数据

全域粗糙度测试，可测摩擦试验后粗糙表面，兼容 Ra≥3.2μm 大起伏形貌

50nm 台阶孔形貌测试，适配铜高反射 / SiO₂透明层，大视野扫描，简化原子力测试流程

大视野拼接形貌测试｜0.01nm 重复精度，最大 200mm 拼接，单幅成像 15mm 视野

透明薄膜分层测厚服务，非接触无损检测，实现多层膜 3D 重构

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Specification technology

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