·  纳米精度，200×200mm 大视野全域扫描

·  可测 70mm大台阶工件双面平行度

·  加装光谱模块，同步检测面型与粗糙度

·  自动测量智能判定，适配批量全检

·  独创光路，双面同扫精准测厚与平行度

·  14mm 大视野，多物镜组合，兼顾广视观测与精密测量

·  一键自动调平对焦，长距测量，适配深孔高落差检测

·  干涉解析 + 真彩成像，细节清晰，测量直观全面

·  一键全域粗糙度检测，量程广，适配各类工件

·  适配多种材质工件，无需表面处理，检测高效便捷。

·  具备亚微米高精度，大视野测量无需拼接，支持多探头选配。

·  搭载分层扫描技术，可穿透表层精准检测内部结构形态