非透明上下面厚度均匀性

Non-transparent Top-Bottom Thickness Uniformity

多功能面型干涉仪
多功能面型干涉仪
WLI-4100系列

·  纳米精度，200×200mm 大视野全域扫描

·  可测 70mm大台阶工件双面平行度

·  加装光谱模块，同步检测面型与粗糙度

·  自动测量智能判定，适配批量全检

·  独创光路，双面同扫精准测厚与平行度

下载目录

展开    

收起

纳米精度｜200×200mm 视野，扫描成像
纳米精度｜200×200mm 视野，扫描成像
传统干涉仪受光学局限，无法对70mm台阶工件双面同步扫描，难以测量平面平行度。
传统干涉仪受光学局限，无法对70mm台阶工件双面同步扫描，难以测量平面平行度。
传统截面测量易因样品差异造成取样偏移，数据偏差大；面台阶测量可有效杜绝此类误差
传统截面测量易因样品差异造成取样偏移，数据偏差大；面台阶测量可有效杜绝此类误差
传统大视野面测受光学限制，XY 精度难以兼顾，加装光谱模块即可完美兼顾粗糙度测量
传统大视野面测受光学限制，XY 精度难以兼顾，加装光谱模块即可完美兼顾粗糙度测量
纳米精密检测设备搭载自动点位测量与智能OK NG判定功能，大幅提速，适配批量全检作业
纳米精密检测设备搭载自动点位测量与智能OK NG判定功能，大幅提速，适配批量全检作业
专属独特光路架构，非透明样品支持上下表面同时扫描，可精准检测厚度均匀性与面平行度
专属独特光路架构，非透明样品支持上下表面同时扫描，可精准检测厚度均匀性与面平行度