微纳图形结构测量

Micro-nano Pattern Structure Measurement

显微3D白光干涉仪
显微3D白光干涉仪
WLI-6050系列

·  14mm 大视野，多物镜组合，兼顾广视观测与精密测量

·  一键自动调平对焦，长距测量，适配深孔高落差检测

·  干涉解析 + 真彩成像，细节清晰，测量直观全面

·  一键全域粗糙度检测，量程广，适配各类工件

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14mm 超大单幅视野，0.6 倍轻量化镜头 + 4 物镜转塔，一机覆盖大视场观测与高精度测量全需求
14mm 超大单幅视野，0.6 倍轻量化镜头 + 4 物镜转塔，一机覆盖大视场观测与高精度测量全需求
搭载一键自动倾斜调平，双闭环精准对焦，操作简易，支持 100mm 连续测量，适配各类高落差深孔结构检测
搭载一键自动倾斜调平，双闭环精准对焦，操作简易，支持 100mm 连续测量，适配各类高落差深孔结构检测
全域粗糙度一键测量，量程跨度广，可精准检测从超光滑镜面到增材高粗糙工件的全范围表面粗糙度
全域粗糙度一键测量，量程跨度广，可精准检测从超光滑镜面到增材高粗糙工件的全范围表面粗糙度
独创光路 + 分层扫描，膜厚精准测量，穿透透明层直达底部轮廓检测
独创光路 + 分层扫描，膜厚精准测量，穿透透明层直达底部轮廓检测
保留黑白干涉解析能力，搭载 RGB 真彩色成像；还原样品形貌与色彩细节，测量更全面、分析更直观
保留黑白干涉解析能力，搭载 RGB 真彩色成像；还原样品形貌与色彩细节，测量更全面、分析更直观
一键自动生成检测报告，兼容 MES 系统，测量数据可无缝上传对接
一键自动生成检测报告，兼容 MES 系统，测量数据可无缝上传对接