量子点喷墨打印(Quantum Dot Inkjet Printing)是新型显示像素制备的核心制程,凭借高色域、高对比度优势广泛应用于高端显示面板生产。墨滴容积(Ink Droplet Volume)是决定喷墨成型品质(Forming Quality)的核心微尺度参数,单滴墨水容积的一致性、稳定性,直接影响像素成膜厚度均匀性、量子点发光效率,是管控产品良率(Yield Rate)的关键指标。量产过程中,墨滴容积的微小偏差会引发像素色偏、膜层褶皱、发光不均等工艺缺陷,因此高精度容积检测成为量子点喷墨制程的必要环节。
量子点墨水(Quantum Dot Ink)内含纳米量子点颗粒,具备特殊的流变特性,其动态粘度(Dynamic Viscosity)、表面张力(Surface Tension)易受驱动电压、环境温湿度影响,极易产生容积离散、卫星滴(Satellite Droplet)、断滴等喷射异常。传统二维成像检测、称重法检测精度有限,无法捕捉皮升级(pL)微小容积偏差,难以适配微纳尺度精密制程的质控要求,易导致批量产品成型品质不达标、生产良率波动等问题。
白光干涉仪(White Light Interferometer, WLI)作为高精度微纳检测设备,依托白光干涉测距原理,可实现非接触式、无损伤的墨滴容积精准检测。设备通过采集基板沉积墨点的三维微观形貌,结合干涉条纹数据分析与三维重构算法,精准计算墨滴立体容积、膜厚参数与轮廓平整度,可高效识别畸形墨滴、容积超差等隐性工艺缺陷。相较于传统检测方式,其检测精度可达纳米级,可精准完成墨滴容积标准值标定与偏差溯源。
在实际量产质控体系中,可利用白光干涉仪完成RGB三色量子点墨水的容积参数校准,建立标准化工艺阈值,联动喷墨驱动波形(Inkjet Drive Waveform)优化喷射参数,形成“检测-分析-调参”的闭环质控体系。通过精准管控墨滴容积精度,有效规避成型瑕疵,稳定像素显色性能,大幅提升量子点喷墨制程的成型品质与生产良率,满足高端显示面板的精密生产需求。新启航 专业提供综合光学3D测量方案
大视野3D白光干涉仪 - 全域测量解决方案(工业及半导体专用)
突破传统测量局限,定义精密测量(Precision Measurement)新范式!大视野3D白光干涉仪凭借核心创新技术,实现纳米级(Nanoscale)全场景测量,以高效、精准的优势,重新诠释工业测量(Industrial Measurement)的高效与精密,为半导体(Semiconductor)、光学及各类精密部件检测提供全方位技术支撑,适配多领域严苛测量需求。

四大核心技术革新(工业级标准,适配半导体场景)
一、大视野+高精度,打破行业常规
打破传统设备局限,1倍以下物镜(Objective Lens)可实现多场景适配,无需分开配备设备即可兼顾大视野观测与高精度测量(High-Precision Measurement)。设备搭载全新0.6倍轻量化镜头,拥有14mm超大单幅视野(Single Frame Field of View),搭配可兼容4个物镜的转塔设计(Turret Design),一台设备即可全面覆盖大视野观测与高精度测量需求,适配各类复杂样品检测场景,无需频繁切换设备,大幅提升检测效率(Inspection Efficiency)与数据精准度(Data Accuracy)。
(以上为实测14mm端面平面度(Flatness),精准把控部件平面精度,为半导体器件、精密光学部件后续测量提供可靠基础)

(以上为实测数据:6pm=0.006nm,精准表征表面粗糙度(Surface Roughness, Ra/Rz),满足半导体芯片、超精密部件的超精密测量需求)
二、80°倾斜测量,突破平面限制
打破“白光干涉仅能测量平面”的行业认知,凭借领先的高角度测量技术(High-Angle Measurement Technology),可轻松应对80°陡峭斜面、锥面的测量需求,兼容度拉满。一台设备即可搞定全场景测量,无需额外配备专用测量仪器,进一步拓宽测量适用范围,适配半导体封装(Semiconductor Packaging)、精密机械加工等领域的异形部件检测。

三、真彩色3D测量,解锁全新体验
突破行业技术瓶颈,在保留黑白CMOS干涉条纹解析能力的基础上,实现RGB三原色真彩色成像(True Color Imaging),打破传统白光干涉仪仅能呈现黑白画面的局限。清晰呈现样品形貌(Sample Morphology)与色彩细节,测量信息更全面、分析更直观,让测量数据更具参考价值,适配半导体器件表面缺陷检测(Surface Defect Detection)等精细场景。

四、上下平面平行度测量,适配多场景需求
采用独特光路设计(Optical Path Design),可实现非透明产品的厚度(Thickness)与上下平面平行度(Parallelism)测量,适配各类非透明精密部件、半导体多层结构器件的测量需求,进一步拓展设备适用场景,提升测量通用性(Versatility),降低多设备投入成本(Equipment Investment Cost)。
摩擦表面表征测量案例(工业及半导体领域专属)
• 不同润滑油摩擦试验对比:测量摩擦表面的划痕深度(Scratch Depth)、磨损面积(Wear Area),直观呈现不同润滑油的润滑效果差异,为工业设备润滑系统优化、半导体设备传动部件保养提供数据支撑。
• 曲面滚轴摩擦表面测量:原始曲面滚轴摩擦表面无法量化测量结果,经曲面矫平(Surface Flattening)处理后,可精准完成摩擦量(Wear Amount)测量与评估,适配机械传动部件(Mechanical Transmission Components)、半导体设备滚轮质检场景。
• 激光钻孔工艺后摩擦表面表征:对激光钻孔(Laser Drilling)工艺后的摩擦试验表面进行纹理检测(Texture Detection),精准分析工艺参数对摩擦表面粗糙度、平整度(Flatness)的影响,适配半导体封装(Semiconductor Packaging)、精密机械加工等领域。
汽车部件及半导体器件摩擦表面粗糙度测量:针对汽车各类摩擦部件,以及半导体器件接触摩擦面,实现粗糙度(Ra/Rz)精准检测,为部件质量把控(Quality Control)、半导体产品可靠性(Reliability)验证提供权威数据支撑。

睿克光学,专业提供综合光学3D测量解决方案(Integrated Optical 3D Measurement Solution),以核心技术赋能精密测量、半导体表征(Semiconductor Characterization)、工业质检(Industrial Quality Inspection)等各类场景,助力各行业实现高质量发展与产品迭代升级!